Fa'ainisinia fa'amalosi masini 2CP3-68 1946725 mo Carter excavator

O se metotia mo le saunia o se masini faʻamalosi, faʻaalia e aofia ai laasaga nei:

S1, tuʻuina atu se faʻamaʻi ma se pito i tua ma se pito i luma; Fausia o se fasi piezoresistive ma se vaega fa'afeso'ota'i tele i le pito i luma o le wafer; Fausiaina o se oga loloto loloto e ala i le togiina o le pito i tua o le wafer;

S2, fa'apipi'i se pepa lagolago i tua o le fafie;

S3, gaosiga o pu ta'ita'i ma uaea u'amea i le pito i luma o le wafer, ma fa'afeso'ota'i fasi piezoresistive e fai ai se alalaupapa Wheatstone;

S4, teuina ma le faia o se passivation layer i luga o le pito i luma o le wafer, ma tatala vaega o le passivation layer e fausia ai se nofoaga pad uʻamea. 2. O le auala o le gaosiga o le masini faʻamalosi e tusa ai ma le tagi 1, lea e aofia ai le S1 faʻapitoa laasaga nei: S11: tuʻuina atu o se faʻamaʻi faʻatasi ma se pito i tua ma se pito i luma, ma faʻamalamalamaina le mafiafia o se ata tifaga maaleale i luga o le wafer; S12: fa'apipi'i ion o lo'o fa'aogaina i luga o le pito i luma o le wafer, o fasi piezoresistive o lo'o gaosia e se fa'agasologa o le fa'asalalauina o le vevela, ma fa'afeso'ota'i itulagi e mamafa doped; S13: fa'aputu ma fa'atūina se fa'amalumaluga i luga o le pito i luma o le fa'ama'i; S14: togiina ma fai se pu loloto mamafa i tua o le wafer e fai ai se ata tifaga maaleale. 3. Le auala gaosiga o le masini mamafa e tusa ai ma le tagi 1, lea o le wafer o le SOI.

I le 1962, Tufte et al. na gaosia se masini fa'apipi'i piezoresistive fa'atasi ai ma fasi pepa piezoresistive silikoni fa'asalalau ma fausaga ata tifaga mo le taimi muamua, ma amata ai le su'esu'ega ile masini fa'apipi'i piezoresistive. I le faaiuga o le 1960s ma le amataga o le 1970s, o le foliga mai o tekinolosi e tolu, e pei o le silicon anisotropic etching technology, ion implantation technology ma anodic bonding technology, na aumaia ai suiga tetele i le masini mamafa, lea na faia ai se sao taua i le faʻaleleia o le faʻatinoga o le masini faʻamalosi. . Talu mai le 1980s, faʻatasi ai ma le faʻalauteleina o le atinaʻeina o tekonolosi micromachining, e pei o le anisotropic etching, lithography, diffusion doping, ion implantation, fusifusia ma le faʻapipiʻiina, o le tele o le mamafa o le masini ua faʻaitiitia pea, ua faʻaleleia le lagona, ma maualuga le gaosiga ma lelei le faatinoga. I le taimi lava e tasi, o le atinaʻeina ma le faʻaogaina o tekinolosi fou micromachining e faʻatautaia saʻo ai le mafiafia o ata o le masini masini.