Fa'atatau ile fa'asu'u masani a le Passat 06E906051K

1. O se metotia mo le fa'atupuina o se masini fa'amalosi, e aofia ai:

Tuuina atu o se mea faʻapipiʻi semiconductor, lea o loʻo faʻapipiʻiina ai se vaega muamua o le dielectric interlayer, o le muamua interlayer dielectric layer ma le lua interlayer dielectric layer e fausia i luga o le semiconductor substrate.

O se ipu eletise pito i lalo i le vaega muamua interlayer dielectric layer, o se uluai electrode soofaatasi o loo i luga o le tulaga tutusa e pei o le ipu electrode pito i lalo ma avanoa ese.

Feso'ota'i apa;

Fausia o se fa'ailoga taulaga i luga a'e o le ipu polar pito i lalo;

Fausiaina o se ipu eletise pito i luga i luga o le vaega muamua interlayer dielectric layer, le vaega muamua interconnection ma le taulaga taulaga;

A maeʻa ona faʻapipiʻiina le faʻailoga taulaga ma aʻo leʻi faia le ipu pito i luga, i le vaega muamua o fesoʻotaʻiga

Fausia se tootoo fesoʻotaʻiga, ma faʻatumu le tootoo fesoʻotaʻiga ma le ipu pito i luga e faʻafesoʻotaʻi eletise ma le vaega muamua o fesoʻotaʻiga; pe,

A maeʻa ona fausia le ipu eletise pito i luga, o loʻo faʻapipiʻiina alalaupapa i luga o le ipu eletise pito i luga ma le vaega muamua o fesoʻotaʻiga, lea.

Fausiaina o se tulaga conductive e fesootai le ipu electrode pito i luga ma le vaega muamua interconnection i le tootoo sootaga;

A maeʻa eletise faʻafesoʻotaʻi le ipu pito i luga ma le faʻapipiʻi muamua faʻapipiʻi, aveese le taulaga taulaga e fai ai se pu.

2. Le auala mo le faia o se masini mamafa e tusa ai ma le tagi 1, lea i le vaega muamua

O le auala mo le fausiaina o le taulaga i luga o le interlayer dielectric layer e aofia ai laasaga nei:

Fa'aputuina ose mea fa'afaitaulaga i luga ole laiga fa'a-dielectric interlayer muamua;

Fa'ata'ita'iina le fa'asologa o meafaitaulaga e fai ai se fa'afaitaulaga.

3. O le auala mo le faia o le masini faʻamalosi e tusa ai ma le tagi 2, lea e faʻaogaina ai le photolithography ma le togitogiga.

O le vaega o mea osigataulaga e mamanu i le faiga o le togitogiga.

4. O le auala mo le faia o se masini mamafa e tusa ai ma le tagi 3, lea e osi ai le taulaga

Ole mea ole amorphous carbon po'o germanium.

5. O le auala mo le faia o se masini mamafa e tusa ai ma le tagi 4, lea e osi ai le taulaga

O meafaitino o le carbon amorphous;

Etching kasa fa'aaogaina i le fa'agasologa o le togitogiina o le fa'ameafaitaulaga e aofia ai le O2, CO, N2 ma le Ar;

O faʻamaufaʻailoga i le faagasologa o le togitogiina o le mea e fai ai taulaga o: o le tafe o le O2 o le 18 SCCM ~ 22 SCCM, ma le tafe o le CO o le 10%.

Ole fua ole tafe mai le 90 SCCM ile 110 SCCM, ole tafe ole N2 e mai le 90 SCCM ile 110 SCCM, ma le tafe ole Ar.

Ole laina ole 90 SCCM ~ 110 SCCM, ole mamafa ole 90mtor ~ 110mtor, ma le mana faʻaituau e

540w–660w.