Fa'atulagaina o Piezoresistive Sensor

I totonu o lenei masini, o loʻo tuʻufaʻatasia le taʻavale tetee i luga o le monocrystalline silicon diaphragm e ala i le tuʻufaʻatasia o le faiga e fai ai se pusi piezoresistive silicon, ma o le pito o lenei puʻe ua faʻapipiʻiina i totonu o le atigi, ma o loʻo taʻitaʻia i fafo le eletise. Piezoresistive pressure sensor, lea e lauiloa foi o le malosi o le malosi o le setete, e ese mai le faʻapipiʻi faʻamalosi fua, lea e manaʻomia ona lagona le malosi i fafo e ala i elemene maaleale elastic, ae lagona saʻo le fuaina o le mamafa e ala i le diaphragm silicon.

O le tasi itu o le diaphragm silicon o se pusa maualuga-omiga e fesoʻotaʻi ma le fuaina o le mamafa, ma le isi itu o se vaʻa maualalo-oomi e fesoʻotaʻi ma le siosiomaga. E masani lava, o le diaphragm silicon ua mamanuina e pei o se liʻo ma le pito i tua, ma o le fua faatatau o le lautele i le mafiafia e tusa ma le 20 ~ 60. E fa faʻamaufaʻailoga faʻaleagaina o loʻo faʻasalalau i le lotoifale i luga o le diaphragm silicon circular ma fesoʻotaʻi i totonu o se alalaupapa atoa, lua o ia mea. o loʻo i totonu o le sone faʻamalosi faʻamalosi ma o le isi lua o loʻo i totonu o le sone faʻamalosi faʻamalosi, lea e tutusa lelei e faʻatatau i le ogatotonu o le diaphragm.

E le gata i lea, o loʻo i ai foʻi faʻailoga sikuea silicon diaphragm ma masini koluma koluma. O le silicon cylindrical sensor e faia foi i fasipepa tetee e ala i le faasalalauina i se itu patino o se vaalele tioata o le silicon cylinder, ma e lua fasi pepa faʻamalosi faʻamalosi ma lua faʻamalosi faʻamalosi faʻamaufaʻailoga e fausia ai se alalaupapa atoa.

Piezoresistive sensor o se masini e faia e ala i le diffusion teteʻe i luga o le substrate o mea semiconductor e tusa ai ma le aafiaga piezoresistive o mea semiconductor. O lona substrate e mafai ona faʻaoga saʻo e fai ma fua fua, ma o le faʻasalalauga faʻasalalau e fesoʻotaʻi i totonu o le substrate i foliga o se alalaupapa.

Pe a fa'aleagaina le mea'ai ona o le malosi mai fafo, o le a suia le tau o le tete'e ma o le alalaupapa o le a maua ai mea e le paleni. O mea'ai (po'o diaphragms) o lo'o fa'aogaina e pei o piezoresistive sensor e masani lava o u'amea masi ma germanium. Silicon piezoresistive sensors e faia i le silicon wafers e pei o mea maaleale ua tosina mai ai le tele ma le tele o le gauai, aemaise lava le solid-state piezoresistive sensors mo le fuaina o le mamafa ma le saoasaoa e sili ona faʻaaogaina.