E talafeagai mo Hitachi KM11 suauʻu mamafa sensor EX200-2-3-5

Fa fa'atekonolosi fa'amalosi o masini fa'amalosi

1. Malosiaga

capacitive pressure sensors e masani ona fiafia i ai se numera tele o talosaga faʻapolofesa OEM. O le su'eina o suiga o le malosi i le va o luga o le lua e mafai ai e nei masini ona lagona le maualalo o le mamafa ma le vacuum. I la matou fa'atonuga fa'apitoa, o se fale fa'apipi'i e aofia ai ni u'amea va'ava'ai se lua, fa'aparale ma fa'a-eletise, o le tasi o ia mea o se diaphragm e mafai ona punou teisi i lalo o le mamafa. O loʻo faʻapipiʻiina nei mea faʻapipiʻi mautu (poʻo papatusi) ina ia suia e le punou o le faʻapotopotoga le va i le va oi latou (o le mea moni e fai ai se capacitor fesuiaʻi). O le suiga ua maua e iloa e se ma'ale'ale laina fa'atusatusa fa'asologa ma (po'o le ASIC), lea e fa'ateleina ma fa'atupuina ai se fa'ailoga maualuga maualuga.

2.CVD ituaiga

fa'afuga ausa vaila'au (po'o le "CVD") auala gaosiga fa'apipi'i le polysilicon layer i le diaphragm u'amea u'amea i le tulaga mole, ma fa'apea e maua ai le fa'alogo ma le lelei tele o le fa'agasologa o le fe'avea'i. O auala masani e gaosia ai le semiconductor o lo'o fa'aogaina e fausia ai alalaupapa fa'amauina polysilicon fa'atasi ai ma le fa'atinoina lelei i se tau talafeagai. O le fausaga o le CVD e sili ona lelei le tau ma o le masini sili ona lauiloa i talosaga OEM.

3. Sputtering ituaiga ata tifaga

Sputtering film deposition (poʻo le "ata tifaga") e mafai ona fatuina se masini faʻatasi ma le maualuga tuʻufaʻatasiga laina, hysteresis ma toe fai. O le sao atoatoa e mafai ona maualuga e pei o le 0.08% o le fua atoa, ae o le tafe umi e maualalo ifo i le 0.06% o le fua atoa i tausaga uma. Tulaga tulaga ese o meafaifaaili autu-o le tatou masini ata tifaga manifinifi sputtered o se oa i le alamanuia lagona mamafa.

4.MMS ituaiga

E fa'aogaina e nei masini masini micro-machined silicon (MMS) diaphragm e iloa ai suiga o le mamafa. O le diaphragm silicon e vavae ese mai le ala e ala i le suauu-tumu 316SS, ma latou tali atu i le faasologa ma le faagasologa o le mamafa o le suavai. O le MMS sensor e faʻaaogaina tekinolosi faʻapipiʻi semiconductor masani, lea e mafai ona maua ai le maualuga o le voltage resistance, laina lelei, lelei le faʻalavelave faʻafuaseʻi ma le mautu i totonu o se pusa masini faʻapipiʻi.