Semiconductor pressure sensors e mafai ona vaevaeina i ni vaega se lua, o le tasi e faʻavae i luga o le mataupu faavae o le I-υ uiga o le semiconductor PN junction (poʻo le schottky junction) suia i lalo o le faʻalavelave.O le fa'atinoga o lenei elemene fa'aletonu e matua le mautu ma e le'i fa'atupuina tele.O le isi o le sensor e faʻavae i luga o le semiconductor piezoresistive effect, o le ituaiga autu o le semiconductor pressure sensor.I ulua'i aso, sa tele lava fa'apipi'i fua fa'ama'i semiconductor i elemene fa'ama'i e fai ai meafaigāluega e fua ai fa'amamafa ma fa'alavelave.I le 1960s, faʻatasi ai ma le atinaʻeina o tekonolosi fesoʻotaʻiga faʻapipiʻi semiconductor, na faʻaalia ai se masini eletise semiconductor faʻatasi ai ma le diffusion resistor e pei o le elemene piezoresistive.O lenei ituaiga o masini faʻapipiʻi e faigofie ma faʻatuatuaina le fausaga, e leai ni vaega feʻaveaʻi, ma o loʻo tuʻufaʻatasia le elemene maaleale o le mamafa ma le elemene elastic o le masini, lea e aloese ai mai le faʻaogaina o masini ma fetolofi ma faʻaleleia le faʻatinoga o le masini.

Piezoresistive aafiaga o le semiconductor Semiconductor ei ai se uiga e fesootai ma le malosi i fafo, o lona uiga, o le tetee (faatusa i le faailoga ρ) suia ma le mamafa o loo tauaveina, lea e taua o le aafiaga piezoresistive.O le suiga faʻatatau o le resistivity i lalo o le gaioiga o le faʻamalosia o iunite ua taʻua o le piezoresistive coefficient, lea e faʻaalia e le faʻailoga π.Fa'amatala fa'amatematika e pei ole ρ/ρ = π σ.

O le σ o lo'o fa'atusalia le mamafa.O le suiga o le tau tetee (R / R) e mafua mai i le semiconductor teteʻe i lalo o le atuatuvale e masani lava ona fuafuaina e le suiga o le resistivity, o lea e mafai foi ona tusia le faʻaaliga o le piezoresistive aafiaga R / R = πσ.

I lalo o le gaioiga o le malosi i fafo, o le mamafa o le mamafa (σ) ma le faʻalavelave (ε) e faʻatupuina i tioata semiconductor, ma o le sootaga i le va oi latou e fuafuaina e le Young's modulus (Y) o mea, o lona uiga, Y = σ / ε.

Afai o le aʻafiaga o le piezoresistive e faʻaalia e le faʻalavelave i luga o le semiconductor, o le R / R = Gε.

O le G ua ta'ua o le tulaga ma'ale'ale o le masini omiga, o lo'o fa'atusalia ai le suiga fa'atatau o le tau o le tete'e i lalo o le fa'aletonu o iunite.

Piezoresistive coefficient po'o le ma'ale'ale vaega o le fa'avae fa'aletino autu ole aafiaga piezoresistive semiconductor.O le sootaga i le va oi latou, e pei lava o le sootaga i le va o le atuatuvale ma le tiga, e fuafuaina e le Young's modulus o meafaitino, o lona uiga, g = π y.

Ona o le anisotropy o tioata semiconductor i elasticity, Young's modulus ma piezoresistive coefficient suia i le tulaga tioata.O le tele o le semiconductor piezoresistive aafiaga e vavalalata foi i le resistivity o le semiconductor.O le maualalo o le resistivity, o le laʻititi lea o le faʻaogaina o mea.O le aafiaga piezoresistive o le diffusion tete'e e fuafuaina e le fa'ata'ita'iga tioata ma fa'atonuga le mama o fa'asalalauga fa'asaga.O le fa'aogaina o le le mama e fa'atatau i le fa'aogaina o le eleelea o le fa'asalalauga.