Ole fa'aoga masani ole semiconductor pressure sensor e fa'aogaina ai le N-type silicon wafer e fai ma sui.Muamua, e fai le fa'amea fa'asilikoni i se vaega fa'amamafa fa'amamafa ma se fa'ailoga fa'apitoa.I le vaega o lo'o fa'aosoina ai le fa'amamafa o le silicon wafer, e fa P-type diffusion resistors o lo'o faia i luga o fa'atonuga tioata eseese, ona fausia ai lea o se alalaupapa Wheatstone e fa fa'atasi ma nei fa'asagaga e fa.I lalo o le gaioiga o le malosi i fafo, o suiga o tau tetee e avea ma faailo eletise.O lenei alalaupapa saito ma le aafiaga o le mamafa o le fatu lea o le masini masini, lea e masani ona taʻua o le alalaupapa piezoresistive (e pei ona faʻaalia i le Ata 1).O uiga o le alalaupapa piezoresistive e pei ona taua i lalo: ① o le tau tetee o lima e fa o le alalaupapa e tutusa (uma r0);② Ole a'afiaga ole piezoresistive o lima lata ane ole alalaupapa e tutusa lona tau ma fa'afeagai ile fa'ailoga;③ Ole fua ole vevela ole malosi ole fa alima ole alalaupapa e tutusa, ma e tutusa lava le vevela.I le fig.1, R0 o le tau tetee e aunoa ma le popole i le vevela o le potu;O le RT o le suiga lea e mafua mai i le fua o le vevela o le tetee (α) pe a suia le vevela;Υ Rδ o le suiga o le tete'e e mafua mai i le tiga (ε);Ole eletise ole alalaupapa ole u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (alalaupapa fa'apogai tumau).

O le I0 o lo'o i ai pea le puna o lo'o i ai nei ma o le e o lo'o fa'aauau pea le puna eletise.O le voluma o le alalaupapa piezoresistive e fa'atatau tonu i le fa'alavelave (ε) ma e leai se mea e fa'atatau i le RT e mafua mai i le vevela o le tete'e, lea e matua fa'aitiitia ai le vevela o le masini.O le fa'aoga fa'aogaina o le semiconductor pressure sensor o se masini e iloa ai le mamafa o le vai.O lona fausaga autu o se pusa e faia i le monocrystalline silicon (e pei ona faʻaalia i le Ata 2).O le diaphragm e faia i se ipu, ma o le pito i lalo o le ipu o le vaega lea e tauaveina le malosi i fafo, ma o le alalaupapa faʻamalosi e faia i le pito i lalo o le ipu.O le fa'avae mama e faia i le silicon tasi tioata tioata, ona fa'amauina lea o le diaphragm i le fa'avae.O lenei ituaiga o masini faʻapipiʻi e iai le lelei o le maualuga o le lagona, laʻititi laʻititi ma le malosi, ma ua faʻaaogaina lautele i vaalele, vaʻalele vaʻaia, masini masini ma mea faʻafomaʻi.